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深圳市森东宝科技有限公司

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产品详情

射频探针台的晶圆探针台制造商厂家

CBTZ半自动探针台
主要技术参数

可测片型:3 寸、 4寸、5寸,6寸、8寸

测试硅片单元尺寸:20—200 mil

定位精度:≤ ±0.01mm/110mm

自动对准精度:±0.01mm

误测率:≤ 1 ‰

全自动对位时间:≤ 15 s

测试速度 45 mil 5.0 pcs/s

50 mil 4.6 pcs/s

87 mil 4.2 pcs/s

步进分辨率:0.001

Z向行程:0~5mm 可调

承片台转角θ调节范围:±20o

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